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한국ITS
(주)한국아이티에스는 1987년 창립이래 20년가 교육, 연구, 일반 및 특수산업.생명공학 등의 다양한 분야에서 사용되는 Rigaku X-Ray 분석 장비를 공급하여 왔으며 당사의 숙련된 기술진으로 하여금 설치와 사후 관리까지 총력을 다하고 있습니다.
사용 가능
X-선 반도체장치 X-선 Metal Film 측정 장치 MFM65
· 특징
X-선 Metal Film 측정 장치
- multi layer film stacks의 thickness,
- density interfacial roughness 측정
- 0.13μm process technologies
- multi layer parabolic mirror
- high x-ray intensity : 10E8cps
- 200mm, 300mm, wafer 측정 가능
- crystallinity와...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 반도체장치 반도체용 형광 X-선 분석장치 3650
· 특징
반도체용 형광 X-선 분석장치
- wafer size : up to 8 inch
- multi layer film analysis
- 동시 분석 film thickness and composition
- multi point measurement
- 16원소 동시 측정
- GEM 대응
· 상세 정보
200mm까지의 반도체 공정용 Wafer나 자기 디스크등의 박막 제조 라인에 있어서의 공정관리용의 형광...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 반도체장치 전반사 Wafer 표면오염 측정장치 TXRF-V310
· 특징
전반사 Wafer 표면오염 측정장치
- 분석 원소 : 11Na ~ 92U
- wafer size : up to 300mm
- 경원소 검출 가능 : Al, Mg, Na 분석 가능
- X-Y-θ stage 적용 (회절 peak의 간섭제거)
- 18kW high power generator
- 환경, 반도체 등의 극미량 오염 원소 분석 (ppt 단위)
· 상세 정보
웨이퍼 표면의 경원소인 Na 원소부터...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 형광장치(XRF) 탁상형 형광 X-선 분석 장치 Primini
· 특징
탁상형 형광 X-선 분석 장치
- 측정 원소 : 9F ~ 92U
- 분석 범위 : ppm ~ 100%
- 정성 (Qualitative) 및 반정량 (semi-quantitative)
- tube type : air-cooled, end-window type
- 6 sample turret
- 640mm(W) x 580mm(D) x 580mm(H), 90kg
· 상세 정보
파장 분산형 광학계를 장착하여,...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 반도체장치 반도체용 형광 X-선 분석장치 Wafer X310
· 특징
반도체용 형광 X-선 분석장치
- wafer size : up to 300mm
- multi layer film analysis
- 동시 분석 film thickness and composition
- FOUP (SMIF) 장착 가능
- multi point measuremment
- GEM 300 대응
· 상세 정보
300 mm사이즈까지의 웨이퍼상의 각종 박막의 두께와 조성을 동시에, 비파괴, 비접촉으로...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 형광장치(XRF) ED-XRF (Model : NEX-CG)
· 특징
New Release 에너지 분산형 형광 X-선 분석장치
- 고감도. 고정밀도 분석
- 2차 타겟의 특수 광학계 장착
- 산란선 FP법 프로그램 장착
- 다양한 형태의 시료 장착
· 상세 정보
2차 타겟을 이용한 특수 광학계와 액체 질소 필요 없는 고 계수형 SDD 검출기를 장착하여 고정밀도•고감도의 분석을 실현한 범용 에너지 분산형 형광 X-선 분석장치입니다.
Na~U까지의 원소를 측정
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 형광장치(XRF) 전자동 도금량 측정 장치 On-line Coating Gauge
· 특징
전자동 도금량 측정 장치
- CGL Zinc coating weight gauge
- ETL Tin/Chromium/Nickel coating weight gauge
- EGL Zinc/Nickel alloy coating weight gauge
- color paint coating weight gauge
- magnetic steel MgO coating weight gauge
- Silicone...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 형광장치(XRF) 파장 분산형 X-선 단원소 분석 장치 Mini-Z
· 특징
파장분산형 X-선 단원소 분석장치( Si,Zr,S,Ni)
- mini-Z S analyzer: ultra low sulfur in fuel oil
low LLD (less than 0.3ppm), ASTM D 2622, ISO20884, JIS 2541
- mini-Z Si analyzer: Si coating on polymer film or paper
- mini-Z Zr analyzer: Zr coating on...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
X-선 형광장치(XRF) 전반사 형광 X-선 분석 장치 NANOHUNTER
· 특징
전반사 형광 X-선 분석 장치
- 고감도 분석 : 13Al ~ 92U
- 고체 표면의 극 미량 오염도 분석
- ppb analysis for little amount of liquid
- multi target : Mo & Cu tube
- 16 sample turret
- electronic cooling type solid state detector (SDD)
· 상세 정보
시료 표면을...
그룹: X 선 검사 장비
사용 가능
시료 수평형 다목적 XRD Ultima IV
· 특징
시료 수평형 다목적 X-선 회절장치
- CBO(Cross Beam Optics) 장착 가능
- 완전자동조정기능
- 간단한 광학계 전환
- 시료 수평형 고니오미터
- 분말회절부터 In-plane까지 다양한 측정 대응
- 고속 X-선 검출기 부착 가능
· 상세 정보
분말시료 측정부터 박막시료 측정까지 기능확장방식(Build-up)에 의해 다양한 측정모드 변환이 가능한 시료 수평형 다목적 X-선 회절장치입니다. 분말,
그룹: X 선 검사 장비